气体混合应用

高鹿提供许多产品帮助可重复压力控制的气体混合应用。透过控制过程中每种特定气体的压力,可以根据命令配置和更改专有混合物,使两个QKL-B1T安装在单独的流量放大器上,并用于控制混合器体应用中的两种介质的压力。外部的压力感测器将QKL-B1T提供第二环路回馈,以确保最高的精度。 QKL-B1T向面板仪表提供实际下游压力的监测回馈讯号。

两个压力控制组件都控制直接下游的已知孔径压力。已知的孔径尺寸为制程中每种特定的气体,提供精确的流速。

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