气体质量流量计（0-2000L/min）

KMF1000 系列数位气体质量流量计采用微机电系统流量感测晶片，适用于各种用途的清洁、相对干燥的小流量气体测量和制程控制，特别的封装技术使得此产品满足不同范围的流量测量，能够保证高灵敏度、高可靠性、高稳定性和低成本。

它的原理是基于MEMS 流量感测单元和高精度数位处理和校准电路。 整合Δ-Σ A/D 转换器以及内部具有校准功能的组合逻辑电路和MCU 处理器共同确保感测讯号的即时有效撷取，获得准确的流量讯号，并在内部进行相应的补偿演算法处理，因此无需进行任何外部校准和补偿即可确保高精度的流量输出。